RIX半導(dǎo)體行業(yè)用旋轉(zhuǎn)接頭/圓晶精磨 MFC系列
規(guī)格：
流體：空氣 、真空 *大壓力：-0.095～0.6MPa *大通路數(shù)：2 *大轉(zhuǎn)速：6000min-1 主要途徑與其特點(diǎn)：
精磨、粗磨等各種裝置的真空夾緊時(shí)使用。 采用特殊的密封構(gòu)造、不需要外部注水也能高速旋轉(zhuǎn)。 還有、低扭矩、低密封磨損和顆粒物產(chǎn)生、具備安定密封特性。 應(yīng)用端設(shè)備對(duì)象：精磨/粗磨、晶圓清洗裝置、高速旋轉(zhuǎn)托盤、感光顯像一體機(jī)
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