日本ekusa 半導(dǎo)體用超純水加熱器EHS型
特征：
高純度、可靠性和可維護(hù)性
高純度產(chǎn)品 所有與液體接觸的部件均由PFA制成 無雜質(zhì)洗脫 低溫加熱器，壽命長。 可與氫氟酸水一起使用。 可靠性 ● *大正常工作壓力為0.4MPa ● 無雜質(zhì)洗脫 ● 低溫設(shè)計(jì)加熱器，壽命長 ● 可使用氫氟酸水 維護(hù)： - 使用低溫加熱器，因此壽命是半長久性的，無需更換加熱器。 - 結(jié)構(gòu)緊湊，安裝簡便 - 可以遠(yuǎn)程控制。
產(chǎn)品型號：EHS-1、EHS-2、EHS-3、EHS-4、EHS-5、EHS-6
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