當(dāng)社は、お客様の用途に合った各種真空爐を、幅広い経験と技術(shù)により提供しています。
橫型內(nèi)熱式 VHF-Ⅰ-H
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竪型內(nèi)熱式 VHF-Ⅰ-V
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橫型外熱式 VHF-E-H
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真空爐の種類と構(gòu)造
真空雰囲気下で加熱する裝置は溫度領(lǐng)域によりヒータ材質(zhì)、溫度制御センサ、容器構(gòu)造および材質(zhì)が異なります。
タイプによる分類
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タイプ Ⅰ 內(nèi)熱?カーボン
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タイプ Ⅱ 內(nèi)熱?メタル等
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タイプ Ⅲ 外熱
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型式
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VHF-Ⅰ(C)
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VHF-Ⅰ(M)
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VHF-E
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加熱溫度域
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超高溫、高溫（1）、高溫（2）
700～2300℃
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超高溫、高溫（1）
1000～2300℃
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高溫（1）、高溫（2）
700～1600℃
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ヒータ材
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硬質(zhì)カーボン
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メタルヒータ
（タングステン?モリブデン?炭化珪素）
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メタルヒータ
（カンタル線?炭化珪素）
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容器材質(zhì)
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ステンレス鋼：SUS304
（水冷ジャケット付）
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ステンレス鋼：SUS304
（水冷ジャケット付）
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爐芯管材：
アルミナ管（～1600℃）
石英ガラス管（～1200℃）
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構(gòu)造
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ヒータ材は、カーボン系(タイプI)とメタル系(タイプII)があります。カーボン系は低コストですが、微粉末が発生するのでクリーン度が要求される場(chǎng)合はメタル系のヒータを用います。 又、高溫域でも比較的溫度が低い高溫域(2)ではヒータ材により低コストのカンタル線や炭化けい素材を使う場(chǎng)合もあります(タイプIII)。
超高溫、高溫(1)の領(lǐng)域では加熱域の溫度が高いので**性の點(diǎn)から容器を2重構(gòu)造の水冷ジャケット型(タイプI、II)にし、材質(zhì)をステンレスにするケースが多くなります。
小型のものではタイプIII(管狀爐)の形狀も選択できます。 容器材質(zhì)がアルミナ管や石英ガラス管で有効エリアが円筒形になります。
溫度領(lǐng)域と構(gòu)成
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分類
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加熱溫度
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制御センサ
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ヒータ材質(zhì)（加熱方式）
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超高溫
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1400～2300℃
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放射溫度計(jì)
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カーボンヒータ、メタルヒータ（W、Mo）※1
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高溫（1）
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1000～1500℃
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白金?ロジューム熱電対（S型、R型、B型）
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カーボンヒータ、メタルヒータ（Mo、SiC）※1
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高溫（2）
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700～1100℃
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クロメルーアルメル熱電対（K型）
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カンタル線ヒータ
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※1) Mo:モリブデン W:タングステン SiC:炭化けい素
超高溫域では高溫に加熱された領(lǐng)域にセンサを差し込んで溫度を測(cè)定する事はできないので放射溫度計(jì)を用います。高溫域では700℃～1100℃(高溫(2))の範(fàn)囲ならばK型熱電対(アルメル-クロメル)で、1000℃～1500℃(高溫(1))の範(fàn)囲ではS,R,B型(白金-白金ロジューム合金)の熱電対を加熱域に差し込んで溫度を測(cè)定します。
冷卻
冷卻方式には、自然冷卻、ガス冷卻、油冷卻などの冷卻方式があります。短時(shí)間で冷卻したい場(chǎng)合冷卻室を別に設(shè)けることも可能です。
真空爐の排気系
真空爐の目的や圧力領(lǐng)域に合わせて真空ポンプの構(gòu)成を選択します。クリーン度を要求される場(chǎng)合はドライポンプやドライポンプ+ターボ分子ポンプ or クライオポンプを選定します。
圧力領(lǐng)域（真空度）と真空ポンプ
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圧力（Pa）※
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真空ポンプ
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大気～3.0
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油回転ポンプ
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大気～10
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ドライポンプ
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1000～0.4
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メカニカルブースタ＋油回転ポンプ
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3～1×10?3
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油拡散ポンプ＋油回転ポンプ
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200～2×10?5
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ターボ分子ポンプ＋ドライポンプまたは、ターボ分子ポンプ＋油回転ポンプ
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40～10?7
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クライオポンプ＋ドライポンプまたは、クライオポンプ＋油回転ポンプ
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※) 圧力(真空度)は容器內(nèi)圧力で、真空ポンプ吸入口圧力より高くなるのは、配管の抵抗と容器內(nèi)のガス発生による影響です。
運(yùn)転操作
裝置內(nèi)に処理材をセット後の真空排気、昇溫、冷卻、大気復(fù)圧の一連の工程を自動(dòng)で行う場(chǎng)合(全自動(dòng)運(yùn)転)と、各工程を個(gè)別に操作するマニュアル運(yùn)転を選択できます。
加熱溫度の制御も加熱溫度を指定するだけの場(chǎng)合や、設(shè)定溫度や昇溫時(shí)間を設(shè)定するプログラム制御などが選択できます。
溫度制御はPID制御を用います。
**回路:ヒータの過(guò)昇溫、冷卻水不足、真空異常などを検出し、ヒータ停止、あるいは全停止します。
